• 克服种种困难,尔必达首次为DRAM工艺引入HKMG技术

    Blade 发布于2011-06-16 09:59 / 关键字: 尔必达, HKMG, 高K金属栅极, DRAM, 40nm

      日前内存芯片厂商尔必达(Elpida)正式宣布,他们将为40nm级别的DRAM制造工艺引入高K金属栅极(High-K Metal Gate,即HKMG)技术,用于开发2Gb的LPDDR2移动平台内存颗粒。

      高K金属栅极技术最早出现在英特尔的45nm工艺上,随后被GlobalFoundries、台积电等厂商引入并应用在各自的产品上。不过由于高K金属栅极形成后热处理温度高较高,加上DRAM内存芯片结构的限制,因此该技术一直无法引入至DRAM芯片的生产工艺当中。

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