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  • 《中国制造2025》技术路线图：未来攻关EUV光刻机、18寸晶圆

    孟宪瑞 发布于2018-05-25 15:25 / 关键字： 中国制造2025, 18英寸, 晶圆, 450mm, EUV光刻机

    硅基半导体产业为什么能发展壮大？因为硅元素是地球上储备最多、成本最低的半导体材料之一，沙子中就含有大量的硅，就连英特尔制作过的宣传片都叫做“从沙到芯片”。不过另一方面，半导体行业又是全球制造业最高端的行业之一，也是中国正在努力攻破的产业。在《中国制造2025》技术路线图中，列出了多种需要攻克的半导体工艺，值得注意的是EUV光刻机以及18英寸晶圆产业。

    300mm晶圆与右侧的450mm晶圆

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